| 序号 | 股东名称 | 持股数量 | 流通% | 更新日期 |
| 1 | 飞凯控股有限公司 | 118237504股 | 22.3656% | 2024-06-30 |
| 2 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司-上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙) | 35846210股 | 6.7806% | 2024-06-30 |
| 3 | 北京联科斯凯物流软件有限公司 | 9579736股 | 1.8121% | 2024-06-30 |
| 4 | 查月珍 | 5430120股 | 1.0272% | 2024-06-30 |
| 5 | 香港中央结算有限公司 | 4765624股 | 0.9015% | 2024-06-30 |
| 6 | 新余汉和泰兴管理咨询有限公司 | 4380036股 | 0.8285% | 2024-06-30 |
| 7 | 刘立新 | 3892886股 | 0.7364% | 2024-06-30 |
| 8 | 上海康奇投资有限公司 | 2936731股 | 0.5555% | 2024-06-30 |
| 9 | 张冬燕 | 2726000股 | 0.5156% | 2024-06-30 |
| 10 | 深圳市汉志投资有限公司 | 2700518股 | 0.5108% | 2024-06-30 |
| 11 | 飞凯控股有限公司 | 118237504股 | 22.513% | 2024-03-31 |
| 12 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司-上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙) | 35846210股 | 6.825% | 2024-03-31 |
| 13 | 北京联科斯凯物流软件有限公司 | 10340736股 | 1.969% | 2024-03-31 |
| 14 | 香港中央结算有限公司 | 5687873股 | 1.083% | 2024-03-31 |
| 15 | 查月珍 | 5430020股 | 1.034% | 2024-03-31 |
| 16 | 新余汉和泰兴管理咨询有限公司 | 4380036股 | 0.834% | 2024-03-31 |
| 17 | 刘立新 | 3892886股 | 0.741% | 2024-03-31 |
| 18 | 上海康奇投资有限公司 | 2936731股 | 0.559% | 2024-03-31 |
| 19 | 张冬燕 | 2726000股 | 0.519% | 2024-03-31 |
| 20 | 深圳市汉志投资有限公司 | 2700518股 | 0.514% | 2024-03-31 |
| 21 | 飞凯控股有限公司 | 118237504股 | 22.504% | 2023-12-31 |
| 22 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司-上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙) | 35846210股 | 6.823% | 2023-12-31 |
| 23 | 香港中央结算有限公司 | 8651021股 | 1.647% | 2023-12-31 |
| 24 | 北京联科斯凯物流软件有限公司 | 8620336股 | 1.641% | 2023-12-31 |
| 25 | 上海康奇投资有限公司 | 7466731股 | 1.421% | 2023-12-31 |
| 26 | 新余汉和泰兴管理咨询有限公司 | 4380036股 | 0.834% | 2023-12-31 |
| 27 | 刘立新 | 3892886股 | 0.741% | 2023-12-31 |
| 28 | 张冬燕 | 2726000股 | 0.519% | 2023-12-31 |
| 29 | 深圳市汉志投资有限公司 | 2710518股 | 0.516% | 2023-12-31 |
| 30 | 北京德乐管理咨询有限公司 | 2190000股 | 0.417% | 2023-12-31 |
| 31 | 飞凯控股有限公司 | 118237504股 | 22.504% | 2023-09-30 |
| 32 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司-上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙) | 35846210股 | 6.823% | 2023-09-30 |
| 33 | 北京联科斯凯物流软件有限公司 | 8835736股 | 1.682% | 2023-09-30 |
| 34 | 上海康奇投资有限公司 | 7466731股 | 1.421% | 2023-09-30 |
| 35 | 香港中央结算有限公司 | 5980197股 | 1.138% | 2023-09-30 |
| 36 | 新余汉和泰兴管理咨询有限公司 | 4616236股 | 0.879% | 2023-09-30 |
| 37 | 刘立新 | 3892886股 | 0.741% | 2023-09-30 |
| 38 | 上海国盛资本管理有限公司-上海国盛海通股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 3663162股 | 0.697% | 2023-09-30 |
| 39 | 张冬燕 | 2750000股 | 0.523% | 2023-09-30 |
| 40 | 深圳市汉志投资有限公司 | 2710518股 | 0.516% | 2023-09-30 |
| 41 | 飞凯控股有限公司 | 118237504股 | 22.497% | 2023-06-30 |
| 42 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司-上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙) | 35846210股 | 6.82% | 2023-06-30 |
| 43 | 北京联科斯凯物流软件有限公司 | 10150236股 | 1.931% | 2023-06-30 |
| 44 | 上海康奇投资有限公司 | 8496731股 | 1.617% | 2023-06-30 |
| 45 | 香港中央结算有限公司 | 5191202股 | 0.988% | 2023-06-30 |
| 46 | 新余汉和泰兴管理咨询有限公司 | 4610036股 | 0.877% | 2023-06-30 |
| 47 | 刘立新 | 3892886股 | 0.741% | 2023-06-30 |
| 48 | 上海国盛资本管理有限公司-上海国盛海通股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 3663162股 | 0.697% | 2023-06-30 |
| 49 | 张冬燕 | 2750000股 | 0.523% | 2023-06-30 |
| 50 | 深圳市汉志投资有限公司 | 2710518股 | 0.516% | 2023-06-30 |
| 51 | 飞凯控股有限公司 | 118237504股 | 22.497% | 2023-03-31 |
| 52 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司-上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙) | 35846210股 | 6.82% | 2023-03-31 |
| 53 | 北京联科斯凯物流软件有限公司 | 9578336股 | 1.822% | 2023-03-31 |
| 54 | 上海康奇投资有限公司 | 8496731股 | 1.617% | 2023-03-31 |
| 55 | 香港中央结算有限公司 | 6076629股 | 1.156% | 2023-03-31 |
| 56 | 上海国盛资本管理有限公司-上海国盛海通股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 6063162股 | 1.154% | 2023-03-31 |
| 57 | 新余汉和泰兴管理咨询有限公司 | 4560036股 | 0.868% | 2023-03-31 |
| 58 | 刘立新 | 3892886股 | 0.741% | 2023-03-31 |
| 59 | 徐鹏 | 3400046股 | 0.647% | 2023-03-31 |
| 60 | 泰康人寿保险有限责任公司-投连-行业配置 | 2842702股 | 0.541% | 2023-03-31 |
| 61 | 飞凯控股有限公司 | 118237504股 | 22.524% | 2022-12-31 |
| 62 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司-上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙) | 35846210股 | 6.828% | 2022-12-31 |
| 63 | 上海国盛资本管理有限公司-上海国盛海通股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 11663049股 | 2.222% | 2022-12-31 |
| 64 | 上海康奇投资有限公司 | 8496731股 | 1.619% | 2022-12-31 |
| 65 | 北京联科斯凯物流软件有限公司 | 6993736股 | 1.332% | 2022-12-31 |
| 66 | 新余汉和泰兴管理咨询有限公司 | 4560036股 | 0.869% | 2022-12-31 |
| 67 | 刘立新 | 3892886股 | 0.742% | 2022-12-31 |
| 68 | 香港中央结算有限公司 | 3603907股 | 0.687% | 2022-12-31 |
| 69 | 兴业银行股份有限公司-广发集裕债券型证券投资基金 | 3300000股 | 0.629% | 2022-12-31 |
| 70 | 张冬燕 | 2800000股 | 0.533% | 2022-12-31 |
| 71 | 飞凯控股有限公司 | 122439304股 | 23.323% | 2022-09-30 |
| 72 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司-上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙) | 35846210股 | 6.828% | 2022-09-30 |
| 73 | 上海国盛资本管理有限公司-上海国盛海通股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 11663049股 | 2.222% | 2022-09-30 |
| 74 | 上海康奇投资有限公司 | 8496731股 | 1.618% | 2022-09-30 |
| 75 | 香港中央结算有限公司 | 5726082股 | 1.091% | 2022-09-30 |
| 76 | 北京联科斯凯物流软件有限公司 | 5093436股 | 0.97% | 2022-09-30 |
| 77 | 新余汉和泰兴管理咨询有限公司 | 4560036股 | 0.869% | 2022-09-30 |
| 78 | 刘立新 | 3892886股 | 0.742% | 2022-09-30 |
| 79 | 兴业银行股份有限公司-广发集裕债券型证券投资基金 | 3300000股 | 0.629% | 2022-09-30 |
| 80 | 张冬燕 | 2800000股 | 0.533% | 2022-09-30 |
| 81 | 飞凯控股有限公司 | 122439304股 | 23.404% | 2022-06-30 |
| 82 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司-上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙) | 35846210股 | 6.852% | 2022-06-30 |
| 83 | 上海国盛资本管理有限公司-上海国盛海通股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 21377737股 | 4.086% | 2022-06-30 |
| 84 | 上海康奇投资有限公司 | 8496731股 | 1.624% | 2022-06-30 |
| 85 | 香港中央结算有限公司 | 8121411股 | 1.552% | 2022-06-30 |
| 86 | 全国社保基金五零二组合 | 7799920股 | 1.491% | 2022-06-30 |
| 87 | 中国工商银行-易方达价值成长混合型证券投资基金 | 4619904股 | 0.883% | 2022-06-30 |
| 88 | 新余汉和泰兴管理咨询有限公司 | 4550036股 | 0.87% | 2022-06-30 |
| 89 | 北京联科斯凯物流软件有限公司 | 4138436股 | 0.791% | 2022-06-30 |
| 90 | 王远淞 | 4077700股 | 0.779% | 2022-06-30 |
| 91 | 飞凯控股有限公司 | 130077504股 | 24.864% | 2022-04-27 |
| 92 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司-上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙) | 35846210股 | 6.852% | 2022-04-27 |
| 93 | 上海国盛资本管理有限公司-上海国盛海通股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 26000000股 | 4.97% | 2022-04-27 |
| 94 | 上海康奇投资有限公司 | 8496731股 | 1.624% | 2022-04-27 |
| 95 | 中国建设银行股份有限公司-广发科技创新混合型证券投资基金 | 8471441股 | 1.619% | 2022-04-27 |
| 96 | 中国农业银行股份有限公司-广发均衡优选混合型证券投资基金 | 8395465股 | 1.605% | 2022-04-27 |
| 97 | 香港中央结算有限公司 | 7474432股 | 1.429% | 2022-04-27 |
| 98 | 北京联科斯凯物流软件有限公司 | 7185436股 | 1.373% | 2022-04-27 |
| 99 | 蔡鉴灿 | 6437400股 | 1.23% | 2022-04-27 |
| 100 | 中国工商银行股份有限公司-广发价值优势混合型证券投资基金 | 5154016股 | 0.985% | 2022-04-27 |
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